ガス用マスフローメータ / コントローラ - EL-FLOWSelectシリーズ

EL-FLOW® SELECT ガス用マスフローメータ / コントローラ

マスフローの測定と制御における実証済みのパフォーマンス

EL-FLOW^® Selectシリーズマスフローメータ / コントローラは、「ラボスタイル」のPCボードハウジングを備えたモジュラー構造の熱式質量流量計です。ガスの流れを測定および制御するためのコントロールバルブは、メータと一体またはメータと分離した形態とすることができます。

最小レンジ 0.014 ... 0.7 ml_n/min
最大レンジ 8 ... 1670 l_n/min

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(フルスケール流量、N₂換算)
フルスケール流量と定格圧力PN

PN 10 MPa	PN 20 MPa	PN 40 MPa
F-110C \| 0.7 ... 9 ml_n/min	F-120M \| 10 ... 15 ml_n/min	F-130M \| 10 ... 15 ml_n/min
F-111B \| 0.008 ... 25 l_n/min	F-121M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-131M \| 0.015 ... 20 l_n/min
F-111AC \| 20 ... 100 l_n/min	F-121M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-131M \| 0.015 ... 20 l_n/min
F-112AC \| 40 ... 250 l_n/min	F-122M \| 15 ... 250 l_n/min	F-132M \| 15 ... 250 l_n/min
F-113AC \| 200 ... 1670 l_n/min	F-123M \| 200 ... 1250 l_n/min	F-133M \| 200 ... 1250 l_n/min

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(フルスケール流量、N₂換算)
フルスケール流量と定格圧力PN

PN 64 MPa	PN 10 MPa	PN 20 MPa	PN 40 MPa
F-200CV \| 0.7 ... 9 ml_n/min	F-210CV \| 0.7 ... 9 ml_n/min	F-220M \| 10 ... 15 ml_n/min	F-230M \| 10 ... 500 ml_n/min
F-201CV \| 0.008 ... 25 l_n/min	F-211CV \| 0.008 ... 25 l_n/min	F-221M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-231M \| 0.5 ... 10 l_n/min
F-201AV \| 20 ... 100 l_n/min	F-211AV \| 20 ... 100 l_n/min	F-221M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-231M \| 0.5 ... 10 l_n/min
F-202AV \| 40 ... 250 l_n/min	F-212AV \| 40 ... 250 l_n/min		F-232M \| 10 ... 100 l_n/min
F-203AV \| 200 ... 1670 l_n/min	F-213AV \| 200 ... 1670 l_n/min

Features

高精度 (標準±0.5% RDプラス±0.1% FS)
レンジアビリティ(デジタル運転時)最大1:187.5
高速応答(最短500 msec)、優れた繰り返し性
オプションのマルチガス・マルチレンジ機能 (ガス種と流量レンジの設定・変更が可能)
定格圧力6.4から40 MPa (マルチガス・マルチレンジ機能は1 MPaまで)
標準のアナログ入出力とRS232通信、オプションのフィールドバスインターフェイス
小型、モジュラー構造
オプションのメタルシール、ダウンポート型もございます
Best in class mean-time-between-failure (MTBF) data based on the IEC 61508 standard

EL-FLOW Select 動画

この動画はBronkhorst High-Techのガス用サーマルマスフローメータ / コントローラEL-FLOW® (バイパスタイプ) の動作原理をご紹介致します。

モジュラーデザイン

マスフローコントローラ用調節弁の設計コンセプトは、他マスフローコントローラメーカーのそれとは異なり、モジュラー構造で、ユーザーが再調整すること無しに現場で交換できる能力を備えています。標準バルブはノルマルクローズでKv値1.5までご利用できます。又、ノルマルオープンもご利用いただけます。

EL-FLOW®シリーズは高圧・高差圧向けに特許取得構造のユニークな調節弁をご用意しております。最大差圧40 MPaまでのさまざまな圧力に、また大流量ガスの測定・制御用にご利用頂けます。

デジタル = 標準

EL-FLOW Selectシリーズの全てのモデルはデジタルPCボードを備えており、自己診断、アラーム、カウンター、デジタル通信及び遠隔でのコントローラ動作特性の調整機能などを備えております。Bronkhorst High-Techのデジタル計器は"マルチバス"コンセプトにより柔軟な機器構成が可能です。オプションでインターフェースボードを追加することにより簡単に
CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII or TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK or FLOW-BUSプロトコルに対応できます。デジタル"マルチバス"通信についての詳細はこちら

マルチガス/マルチレンジ(オプション）

EL-FLOW Select 計器にはオプションでマルチガス/マルチレンジ機能を提供いたします。このオプションはユーザーへ初期の計測・制御レンジアビリティー及び精度を維持しつつ、ガスタイプ及びレンジ選定において多くのフレキシビリティーを提供します。従って、これらの計器をご利用のユーザーは現場で計器のスケール変更が簡単にできるため、機器の取り外し/取り付けに要する時間とコストを節約できます。ユーザーの利便のために、ブロンコストハイテックは操作の容易なソフトウエア“FlowTune”を開発いたしました。このソフトでSelect 計器の設定変更（マルチガス/マルチレンジ）が容易にできます（最大1 MPaまで。ご注文時にご指定下さい）。

バイパス測定原理

ダウンロード

カタログ
EL-FLOW Select カタログ

取扱説明書
簡易操作手引 EL-FLOW Select
取扱説明書 EL-FLOW Select

配線図
アナログI/O - RS232
DeviceNet
EtherCAT
FLOW-BUS
Modbus RTU/ASCII
PROFIBUS DP
PROFINET
CANopen
EtherNet/IP
Modbus-TCP
POWERLINK
オプションのBusとIO構成

証明書・宣言書
ブロンコストのMTBFに関する声明

適用例

分析計/環境機器
食品、化学、石油化学分野におけるガス流量のモニタリング
社内課金管理などのためのガス供給設備におけるガス消費量計測
ガスリーク検査
半導体分野
表面処理設備

PN 10 MPa	PN 20 MPa	PN 40 MPa
F-110C \| 0.7 ... 9 ml_n/min	F-120M \| 10 ... 15 ml_n/min	F-130M \| 10 ... 15 ml_n/min
F-111B \| 0.008 ... 25 l_n/min	F-121M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-131M \| 0.015 ... 20 l_n/min
F-111AC \| 20 ... 100 l_n/min	F-121M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-131M \| 0.015 ... 20 l_n/min
F-112AC \| 40 ... 250 l_n/min	F-122M \| 15 ... 250 l_n/min	F-132M \| 15 ... 250 l_n/min
F-113AC \| 200 ... 1670 l_n/min	F-123M \| 200 ... 1250 l_n/min	F-133M \| 200 ... 1250 l_n/min

PN 64 MPa	PN 10 MPa	PN 20 MPa	PN 40 MPa
F-200CV \| 0.7 ... 9 ml_n/min	F-210CV \| 0.7 ... 9 ml_n/min	F-220M \| 10 ... 15 ml_n/min	F-230M \| 10 ... 500 ml_n/min
F-201CV \| 0.008 ... 25 l_n/min	F-211CV \| 0.008 ... 25 l_n/min	F-221M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-231M \| 0.5 ... 10 l_n/min
F-201AV \| 20 ... 100 l_n/min	F-211AV \| 20 ... 100 l_n/min	F-221M \| 0.015 ... 20 l_n/min	F-231M \| 0.5 ... 10 l_n/min
F-202AV \| 40 ... 250 l_n/min	F-212AV \| 40 ... 250 l_n/min		F-232M \| 10 ... 100 l_n/min
F-203AV \| 200 ... 1670 l_n/min	F-213AV \| 200 ... 1670 l_n/min