サーマル質量流量測定原理

サーマルマスフローメータ・コントローラの動作原理

サーマルマスフローメータ・コントローラはマスフローを測定できるため、広く用いられる体積流量とは異なり、加えて温度と圧力を測定して密度や質量流量を換算する必要がございません。
サーマルマスフロー製品は分子レベルで流体を測定・制御するため、繰り返し性、信頼性に優れ、非常に正確に流体をプロセスに投入出来ます。

サーマルマスフローメータ・コントローラは測定原理に応じて3つに分類できます。

1. ガス用サーマルマスフローセンサ、バイパスタイプ
2. ガス用サーマルマスフローセンサ、インライン/CTAタイプ
3. 液体用サーマルマスフローセンサ、インライン/CTA/CPAタイプ